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低溫等離子體廢氣處理設備:
　　等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到擊穿電壓時，氣體分子被電離，產生包括電子、離子、原子和原子團在內的混合體。
　　產生方法:
　　輝光放電，電暈放電，介質阻擋放電，射頻放電，滑動電弧放電，射流放電，大氣壓輝光放電，次大氣壓輝光放電
　　輝光放電屬于低氣壓放電，工作壓力一般都低于10mbar，其構造是在封閉的容器內放置兩個平行的電極板，利用電子將中性原子和分子激發，當粒子由激發態降回至基態時會以光的形式釋放出能量。電源可以為直流電源也可以是交流電源。每種氣體都有其典型的輝光放電顏色(如下表所示)，熒光燈的發光即為輝光放電。因此，實驗時若發現等離子的顏色有誤，通常代表氣體的純度有問題，一般為漏氣所至。輝光放電是化學等離子體實驗的重要工具，但因其受低氣壓的限制，工業應用難于連續化生產且應用成本高昂，而無法廣泛應用于工業制造中。到2013年止的應用范圍僅局限于實驗室、燈光照明產品和半導體工業等。