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低溫等離子凈化設備去除污染物的機理：
　　等離子體化學反響進程中，等離子體傳遞化學能量的反響進程中能量的傳遞大致如下：
　　(1)電場＋電子→高能電子
　　(2)高能電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團)活性基團
　　(3)活性基團＋分子(原子)→生成物+熱
　　(4)活性基團＋活性基團→生成物+熱
　　等離子凈化設備
　　從以上進程能夠看出，電子首先從電場獲得能量，經過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，一起有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成安穩產品和熱。別的，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反響中起著重要的作用。
　　低溫等離子凈化設備去除污染物的原理：
　　低溫等離子體技能處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質放電發生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列雜亂的物理、化學反響，使雜亂大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變成**無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后發生的電子均勻能量在10ev?，恰當操控反響條件能夠完成一般情況下難以完成或速度很慢的化學反響變得十分快速。作為環境污染處理領域中的一項具有極強潛在優勢的高新技能，等離子體受到了國內外相關學科界的高度重視。
　　低溫等離子體技能在環境工程中的使用：
　　低溫等離子體技能在廢氣處理中的使用隨著工業經濟的發展，石油、制藥、油漆、印刷和涂料等職業發生的揮發性有機廢氣也日漸增多，這些廢氣不僅會在大氣中停留較長的時刻，還會擴散和漂移到較遠的地方，給環境帶來嚴峻的污染，這些廢氣吸入人體，直接對人體的健康發生極大的損害；別的工業煙氣的無操控排放使全球性的大氣環境日益惡化，酸雨(主要來源于工業排放的硫氧化物和氮氧化物)?的損害引起了各國的重視。因為大氣受污染而酸化，導致了生態環境的破壞，嚴重災難頻頻發生，給人類造成了巨大損失。因此挑選一種經濟、可行性強的處理方法勢在必行。