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淄博高新技術產業開發區MEMS研究院由淄博高新區管委會與清華大學機械工程學院于2010年11月共同建設，是微機電制造領域國內**個校地共建研究院，是全國微納制造、器件與系統協同創新中心成員單位。研究院聘任中國工程院院士、清華大學副校長尤政擔任名譽院長。