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中國科學院上海微系統與信息技術研究所 |
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中國科學院上海微系統與信息技術研究所、微電子、絕緣體上硅、航天核心元器件、微電子機械系統 |
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上海微系統所在國內率先研制成功球墨鑄鐵,成功解決了包鋼高含氟鐵礦的冶煉和稀土元素回收。六十年代中期,發展微電子和集成電路制造技術,與工業部門合作研制出國內**塊工業實用PN結隔離集成電路、ECL高速電路和國內**塊8位、16位微處理器。八十年代中期,開展微電子機械系統MEMS和絕緣體上硅SOI材料研究,居國內**地位,并在國際上占據了重要的一席之地。**了多功能復合傳感器等關鍵技術,確立了特種寬帶無線傳感網系統解決方案,實現了在我國相關單元的大規模應用和通信體制由窄帶向寬帶的技術跨越。研制成功國內**顆基于SOI材料的0.13um工藝大規模高可靠專用集成電路ASIC芯片,應用于北斗導航衛星等國家關鍵工程,為我國航天核心元器件的自主可控奠定堅實基礎。
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