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ABB FI830F
ABB FI830F
ABB FI830F
硅片傳輸機器人(wafer-handling robot)是半導體集成電路(IC)制造業中重要的傳輸、定位設備，其工作的速度、定位精度和可靠性直接影響到硅片的生產效率和制造質量。硅片傳輸機器人在有限的空間中實現硅片工位的快速轉換，這對硅片傳輸機器人的運動特性、反應靈敏性、動作準確性、以及工作穩定性和可靠性等方面，都有較高的要求。因此在設計硅片傳輸機器人控制器過程中，需要充分考慮以上工作特性。
深圳市遠創機械科技有限公司
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可編程多軸控制器(Programmable Multi Axis Controller，簡稱 PMAC)為一種廣泛應用在工業控制領域的自動化控制設備，它可配置在普通的PC平臺下，提供開放式模塊化結構的伺服運動控制系統，同時為計算機作伺服控制算法研究和實時監控提供了方便，使多軸聯動參數匹配化設計更加便利。硅片傳輸機器人本體多為3～5自由度的機械臂，而PMAC板能提供多達8軸的獨立運動控制，所以，硅片傳輸機器人控制器完全可以采用PMAC板作為核心實現其功能。
ABB 3ADT309600R1012 SDCS-CON-2B
GE模塊IC693CMM321 雙以太網接口模塊
施耐德 CPU模塊 140CPU11303
AB 羅克韋爾模塊 1757-SRM冗余模塊
AB羅克韋爾冗余模塊1757-SRM
愛默生底板KJ4001X1-BE1
西屋DCS卡件 1C31203G01 1C31203G01
西屋DCS卡件 5X00167G01
TRICONEX英維斯 康吉森電源模塊8312
艾默生 EMERSON DeltaV 艾默生底板KJ3221X1-BA1
和利時模塊HS2000 16D0 HS2M604A
epro傳感器 PR6424/000-030+前置器CON021
EPRO 渦流傳感器 PR6423/004-010-CN 前置器 CON021
epro 電渦流傳感器PR6423/00R-010-CN +CON021
EPRO飛利浦 傳感器 PR 6423/000-031 前置CON041
Bently Nevada 3500/53 本特利卡件
Bently Nevada 3500/50 本特利卡件
AB 羅克韋爾 cpu模塊 1756-L62
BENTLY NEVADA 本特利 3500/42M
Bently Nevada 3500/92 本特利卡件
Bently Nevada 3500/15 本特利電源模塊
3503E 數字輸入模塊DCS安全系統 TRICONEX 英維斯
西屋 EMERSON OVATION 5X0007G04
AB LOGIX5555 處理器模塊 1756-L55M22
艾默生OVATION系統西屋 DCS卡件 5X00241G01
本特利Bently 3500系統3500/50卡件
AB 羅克韋爾 CPU模塊 1756-L61
艾默生 EMERSON DeltaV KJ3222X1-BA1
AB 1756-IB32 B版本模塊
AB 模塊 1756-OB16E
艾默生 EMERSON 備件 1B30035H01 底板
本特利(BENTLY)模塊3500/22M
SST-PFB3-VME-2 SST-PFB3-VME
本特利3500系統卡件3500/53 后卡133396-01
GE CPU模塊 IC697CPX935
和利時FM143模塊
和利時模塊FM151
Ab cpu模塊1747-L551
和利時模塊FM148A
巴赫曼模塊 CM202
巴赫曼模塊MPC240
西屋OVATION 模塊1C31234G01
巴赫曼模塊AIO288
巴赫曼模塊DIO216
巴赫曼模塊NT255
巴赫曼模塊FM211
和利時模塊 FM143A
西屋OVATION 5X00058G01+5X0009G01
西屋 OVATION 5X00119G01+5X00121G01
AB CPU模塊 1756-L61
OVATION系統 西屋DCS卡件1C31224G01/1C31227G01
triconex 英維斯卡件3503E
美國 GE 卡件IM0120C GROUP NR.1017077 NR.1017076
ABB模塊07DI92
西門子6ES5 466-8MC11
本特利12580-01
本特利探頭330103-00-02-10-02-00
ABB CI830
本特利3500/42M
ABB 3BSE018295R1 DSDI 110AV1
ABB FI830F
AITEK 轉速器T77630-10
triconex 英維斯卡件3401
英維斯卡件triconex 3301
1756-CNBR AB模塊
1756-L55M12 AB CPU模塊
AB模塊 1756-CNBR
epro前置器 CON021
IC200CHS022
GE模塊 iC200ALG620
本特利卡 3500/22M
GE模塊 IC693MDL753
GE IC693CPU374
西屋底座1B30035H01
GE模塊 IC693PCM301
GE模塊 IC693ALG221
黑馬 HIMA SIS系統卡件 F3330
HIMA 黑馬SIS系統卡件 數字輸入模塊F3236
HIMA 黑馬卡件F6217
愛默生DCS 模塊 KJ3203X1-BA1
愛默生DCS模塊 KJ3204X1-BA1
GE模塊IC200ALG260H
triconex 英維斯系統卡件模塊 3700A
GE模塊 IC200ALG630-EC
GE模塊 IC200ALG320J
本特利3500/22M后卡146031-01
艾默生OVATION系統西屋 DCS卡件 5X00167G01
艾默生OVATION系統西屋 DCS卡件1C31234G01
艾默生OVATION系統西屋 DCS卡件ANALOG INPUT 5X00070G04
西屋DCS卡件 1C31122G01
triconex 康吉森 英維斯卡件模塊 3805E
西屋DCS卡件PROCESSOR MODULE 控制模塊 5X00241G01
triconex 英維斯 康吉森卡件3625
triconex 英維斯 tricon系統卡件 3805E
伍德沃德WOODWARD PROTECH 203 9907-147
triconex 4210
1C31234G01
KJ4001X1-CE1