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（1）等離子體工藝簡(jiǎn)介
　　等離子體污染物控制技術(shù)利用氣體放電產(chǎn)生具有高度反應(yīng)活性的粒子與各種有機(jī)、無(wú)機(jī)污染物發(fā)生反應(yīng)，從而使污染物分子分解成為小分子化合物或氧化成容易處理的化合物而被去除。
　　這一技術(shù)的**特點(diǎn)是可以**、便捷地對(duì)多種污染物進(jìn)行破壞分解，使用的設(shè)備簡(jiǎn)單，占用的空間較小，并適合于多種工作環(huán)境。
　　2）等離子體工藝原理及流程
　　用于處理?yè)]發(fā)性有機(jī)物的主要是電暈放電,主要的降解機(jī)制如下：在施加的電場(chǎng)下，在電極空間中的電子獲得了能量并開(kāi)始加速。運(yùn)動(dòng)的過(guò)程中的電子與氣體分子相互碰撞，使氣體分子被激發(fā)、電離或吸附電子成為負(fù)離子。
　　（3）等離子體工藝的影響因素
　　在降解過(guò)程中，電極電壓的選擇和控制是其主要內(nèi)容，它會(huì)影響放電介質(zhì)的放電和電子的攜能，以及之后的一系列反應(yīng)，進(jìn)而影響到降解效率；同時(shí)電極電壓也作為該方法達(dá)到商業(yè)應(yīng)用的一個(gè)重要參數(shù)，因此電極電壓的選擇特別關(guān)鍵。
　　低溫等離子體降解VOCs除了和電極電壓有密切關(guān)系外,其還受反應(yīng)器結(jié)構(gòu)、反應(yīng)背景氣氛、VOCs廢氣中含水量、放電頻率、放電電壓、VOCs的化學(xué)結(jié)構(gòu)、催化劑種類(lèi)、低溫等離子體放電形式、反應(yīng)溫度以及VOCs的初始濃度等的影響,其中以氣體濃度和氣流量的影響為主。
　　（4）等離子體工藝優(yōu)缺點(diǎn)
　　優(yōu)點(diǎn)：
　　處理效率高，運(yùn)行費(fèi)用低，特別對(duì)芳烴的去除效率高。
　　缺點(diǎn)：
　　對(duì)高濃度VOCs處理效率一般，目前主要停留在實(shí)驗(yàn)室階段，缺乏實(shí)際應(yīng)用。