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等離子體技術處理有機廢氣的原理為在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離，解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變為**無害或低毒低害物質，從而使污染物得以降解去除。等離子體技術降解有機氣體不需要外加吸收劑或催化劑，只與強電離放電中產生的OH反應生成CO2和H2O，實現無污染化。在強電離放電中，OH的濃度對有機廢氣的降解作用十分重要。
　　等離子體分解破壞揮發性有機污染物的兩種途徑如下
　　（1）高能級電子直接作用于污染物分子：
　　e+污染物分子——各種碎片分子
　　（2）高能級電子間接作用于污染物分子：
　　e+O2(N2,H20)——2O(N,N*,OH)+污染物分子——中性分子
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