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0010-26462半導體配件渠道商介紹,全球**大半導體廠商,也是市占率高達20%的公司AMAT正在中止EUV Blank mask開發。作為全球**的半導體設備廠商AMAT持續尋求新的生長動能,而韓國外鄉企業對相關材料的停頓卻緩不濟急。
Blank mask是指半導體曝光制程所用的未繪制電路Pattern狀態的光罩。曝光制程是提早將半導體電繪制到光罩之后中止光反射或透射反復印制在晶圓的過程。類似于是畫底圖,為控制光源繪制電路,光罩式必不可少的中心。
普通來說是先制造出空白光罩即Blank mask之后再對其中止pattern繪制。而作為次世代半導體制程的EUV是容易被氣體、液體、固體所吸收的光源,Blank mask的制造也是非常特殊。
曝光制程基本采用ArF光源,以便光源透射。但EUV光罩是經過疊加80層左右的Mo(鉬)和Si(硅)以反射EUV光源。所以業界以為EUV Blank mask是一種新事業范疇。
業界人士表示:AMAT著手Blank mask已有3年時間,主要是在新加坡主導中止開發。公司以為有利于應用原設備,才會選擇Blank mask作為新事業開拓。公司為了盡早完成技術量產,也在和韓國光罩廠商中止協作。
但量產或仍需時間。產品量產普通都要耗時10~20年,研發應該還需時間。而即使量產之后,能否能抓住客戶也是一個難題。Blank mask基本已被日本HOYA、AGC Glass獨供到三星和英特爾,EUV產業鏈本身也是幾乎被HOYA在主導。
哪怕技術展開成功也將難超越日本。當然,隨著EUV時期的到來,也會有很多Blank mask的需求,AMAT依然還有勝算。AMAT公司對外表示:公司已在中止研發,但暫無法告知細致內容。
日本政府9日拒絕韓國方面談判提議,重申不打算撤銷對出口韓國半導體產業原材料的管制。
日本經濟產業大臣世耕弘成9日終了內閣會議后通知媒體記者:“限制對韓出口不可談,我們不打算撤回管制措施!比辗焦┱J“報仇”,說限制出口旨在優化出口管控。
韓方思索采取包括向世界貿易組織提起申訴等反制舉措。世耕說,暫時沒有收到韓方懇求世貿組織介入的通知。
日本限制芯片原材料向韓國出口,韓國芯片商目前正思索各種應急方法,但面臨很大的困難。日方表示將會中止向韓國出口3種原材料的優惠待遇,出口商每次出口都要經過批準,為期90天。
▲光刻材料、氟化氫均由日本主導
限制令適用于3種產品,均由日本主導,難以在外找到高質替代品。當中包括用于將電路圖轉印至半導體基板的薄膜光刻材料,用作芯片蝕刻的氣體高純度氟化氫,以及用于制造智能手機顯現屏的氟化聚酰亞胺。
▲日本企業想辦法供貨但一定能滿足需求
日本企業也在想辦法緩和業界困境,JSR發言人表示,他們在比利時的工廠可以提供一些光刻膠。東京應化工業發言人則表示,公司在韓國設有一間工廠,可以向韓國客戶供貨一段時間。
但工廠還是要從日本取得一些原料,才干制造光刻膠。Stella Chemifa就指出,在韓國的合資企業可以向客戶供應氟化氫,但未能說明可以滿足幾客戶需求。
資訊來源:汕頭羅克自動化
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