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631A11TBFP 10TORR渠道商介紹，在真空鍍膜設備真空裝置自動控制中，常常要中止真空丈量，由于真空裝置種類繁多、工作壓力范圍也不盡相同，因此，從105Pa—10-5Pa各真空區域的真空丈量塢會遇到。通常運用的真空計有電阻真空計、熱偶真空計、電容薄膜真空計、電離真空計、超高真空計等。為了拓展真空計的功用，真空儀器廠家還消費包括遙控遙測、模擬量輸出、RS - 232C等通訊接口、壓力調理等功用模塊板供用戶選配。

因此，一個配置齊全的真空計，不只能中止真空度丈量、數字顯現、量程自動切換、誤差自動修正，而且能在壓力設定點發出控制信號去中止壓力控制，按設定壓力值中止壓力自動調理，還能將丈量值打印記載，并與上位機中止通訊聯絡，以致還能中止遠距離真空丈量與控制。

1、壓力控制儀

在工業消費和科學實驗中，常常希望真空裝置的真空室中的真空度能按真空工藝的懇求，維持在某一給定值上。這種懇求通常可以經過手動調理真空微調閥來完成，倘若希望自動地完成壓力調理，就要借助于壓力控制儀來完成。

壓力控制儀通常由真空丈量單元（真空計）、壓力自動調理電路和真空調理閥組成，它是集真空丈量與壓力調理于一體的自動控制儀器。國產壓力控制儀主要有HY、ZDC、SYK、DL、ZZK等系列產品。

表征壓力控制儀的主要技術指標是壓力控制范圍、控制精度、流量控制范圍、反響時間等。它取決于其配用的真空規管、控制電路及真空調理閥的性能。壓力控制儀普遍應用于離子注入、離子束刻蝕、真空鍍膜、激光技術及半導體材料等范疇，其運用的環境條件與同類型的真空計大致相同。

（1）結構與工作原理

壓力控制儀通常是由壓力給定單元、真空丈量單元（真空計）、壓力調理單元、驅動電路及真空調理閥等基本單元組成。它具有手動和自動壓力調理功用。關于采用分立元件的壓力控制儀，其給定單元通常是一個電位器，而壓力調理單元通常是具有比例積分（ PI）或比例積分微分（PID）運算功用的運算電路；關于微機化的壓力控制儀，其給定單元通常是經過鍵盤或碼盤中止壓力設定；而壓力調理單元和丈量單元合為一體，為一單片機系統，其壓力調理功用是應用單片機系統，經過數字PID運算，完成壓力調理。至于驅動電路及真空調理閥，同類型的兩種不同電路結構的壓力拄制儀大致相同。

壓力控制儀可在手動和自動兩種工況下運轉。當開關S打到手動位置時，壓力控制儀相當于一個手動微調真空閥，中止手動壓力調理；當開關S打到自動位置時，壓力控制儀構成一個閉環的自動控制系統，可完成壓力定值自動調理其調理過程是：首先由給定單元設定希望控制的壓力值，根據細致的被控對象的特性，選擇好PID調理單元的比例度艿、積分時間Ti、微分時間Td等參數，當真空丈量單元輸出一個表征被控真空裝置真空室壓力上下的電壓信號時，壓力節單元可將壓力設定值與壓力丈量值中止比較，并將差值中止運算（例如P、PI、PID）；然后經過驅動電路，驅動真空調理閥，改動進入真空室的氣體流量，從而使真空室內的壓力維持在給定值上。當然，這是理想的控制狀態，理論上，由于壓力控制儀的壓力調理單元的特性所致，被控壓力只能是趨近于給定壓力值，并與給定壓力值堅持允許的傾向范圍內。這個傾向值的大小，即表示壓力控制儀壓力控制精度的上下。

（2）真空氣體流量調理元件

從原理上講，普通手動真空調理閥，配上恰當的控制電機（如伺服電機、步進電機等）或液壓缸，經過調理控制電機或液壓缸的控制信號，使控制電機或液壓缸動作，從而改動真空閥的流導，于是改動了流過真空閥的氣體流量，完成在真空裝置中真空室的真空度的自動調理。但是，目茼我國真空儀器廠家消費的真空氣體流量調理閥僅有電磁調理式、質量流量計式及壓電式三種，而國產壓力控制儀多選用壓電閥作為真空氣體流量調理元件。

壓電閥是應用壓電效應制成的一種真空氣體流量調理閥。壓電閥的中心部件是由壓電陶瓷制成的具有壓電特性的膜片。當在壓電陶瓷膜片上施加一控制電壓時，它將會產生正比于外加電壓值大小的變形。同時，帶動密封墊移動。于是壓電閥流導產生變化，從而改動氣體經過壓電閥的流量。當壓電陶瓷膜片上未施加控制電壓時，由于彈簧的機械力作用在壓電陶瓷膜片和密封墊上，使壓電閥氣路關閉。因而，可以經過改動施加在壓電陶瓷膜片上的控制電壓的大小，來改動壓電閥的流導，從而改動流過壓電閥的氣體流量。于是，可完成真空裝置的真空室中的真空度調理。

資訊來源：汕頭羅克自動化