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熱導式氣體傳感器用于氦檢儀器中氦氣濃度檢測


發(fā)布時間:2022-11-09   資訊類別: 其它資訊   我要發(fā)布

真空箱式氦氣檢漏系統(tǒng)由于檢漏率高、單次檢測次數多、操作簡單、運行成本低,已成為大型工件和電子設備生產線批量檢漏的主要方式。根據檢漏方式的不同,真空箱式氦檢漏系統(tǒng)可分為氦壓真空箱式檢漏和充氦檢漏回收兩種方式。
充氦檢漏原理:泄漏的氦氣到達氦檢測器中的電離器,被燈絲發(fā)射的電子束電離。在離子被特定的電壓加速后,它們飛到氦檢測器的磁場中進行偏轉。根據質量差異,得到不同的偏轉半徑,篩選出氦離子到達分析管,產生微電流。經過高性能、低噪聲放大后,得到可讀的電流信號,通過標定建立泄漏率關系,確定泄漏率。
氦氣檢測是一種質譜檢測方法,將氦氣作為示蹤氣體注入到待檢測的工件中,通過質量分析管將工件泄漏的氦氣轉換成相應的微電流信號,從而確定氦氣的泄漏量,進而確定工件的泄漏是否合格。
氦是除氫之外最輕的氣體,這正是氦檢所利用的,當氦氣注入被測管道時,在自然狀態(tài)下會垂直向上擴散,如果管道有泄漏,我們可以通過氦氣檢測儀檢測氦氣的百分比濃度,利用氦氣分子很小,很容易進入那些肉眼檢測不到的小孔,來判斷管道系統(tǒng)的泄漏率是否符合國家標準。這就是管道氦氣檢漏的方法。
對于一些高精度的精細電子元件,要測試的元件放在一個充滿氦氣的容器中,并加壓;在壓力的作用下,如果這些部件有泄漏點,氦氣必然會通過這些小孔進入部件。用壓縮空氣吹掃元件表面少量殘留的氦氣后,用質譜儀檢測元件表面泄漏的氦氣。氦氣濃度檢測工采網技術工程師推薦使用熱導式氣體傳感器:
荷蘭Xensor 熱導式氣體傳感器 - XEN-TCG3880,傳感器芯片包含了2.5*3.33mm 的硅晶片,0.3mm的厚度,有一層氮化硅的薄膜,可進行熱導率的測量,空氣中的He、CO2、H2、N2等氣體濃度的測量。
瑞士Neroxis 熱導式氣體傳感器 - MTCS2601,或者基于帕拉尼原理的真空度檢測,需要超低功耗,長壽命和免維護的產品。適用于惡劣環(huán)境下初級壓力控制,需要功耗和尺寸的限制,或者是氣體泄漏或者水分,或者侵入。


資訊來源:ISweek工采網  


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