混合磨料拋光液
拋磨工件材質的升級和發展，對鏡面要求越來越高，單一的磨料已無法滿足CMP行業需求，研究人員開始嘗試將不同粒徑、不同形貌的一種或多種粒子組合到一起使用，開發出混合型拋光液。
比如混合氧化硅拋光液，在大粒徑二氧化硅中加入小粒徑的氧化硅，能明顯提高拋光速率，且粒徑相差越大提升率越高，這是因為磨料在總的質量分數不變的條件下，增大小粒徑磨料的占比能增加硅溶膠顆粒的總體數量，從而起到了提高拋光速率的作用。
大量的研究成果表明，混合粒子的使用能夠不同程度的提高化學機械拋光的速率，但是對拋光后表面粗糙度的影響有好有壞，不同類型磨料混合使用對CMP拋光結果的影響規律仍有待進一步研究和優化。
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