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***的光柵尺，也稱為光柵尺位移傳感器（光柵尺傳感器），是利用光柵的光學原理工作的測量反饋裝置。光柵尺經常應用于數控機床的閉環伺服系統中，可用作直線位移或者角位移的檢測。其測量輸出的信號為數字脈沖，具有檢測范圍大，檢測精度高，響應速度快的特點。例如，在數控機床中常用于對刀具和工件的坐標進行檢測，來觀察和跟蹤走刀誤差，以起到一個補償刀具的運動誤差的作用。
***的光柵尺按照制造方法和光學原理的不同，分為透射光柵和反射光柵。
光柵尺--利用光的干涉和衍射原理制作而成的傳感器.當兩塊柵距相同的光柵疊放在一起,同時讓線紋構成一微小角度,這時在平行光照射下,與刻線垂直方向上就能看到對稱分布的明暗相間的條紋,稱為莫爾條紋,因此莫爾條紋是光的衍射和干涉作用的總效果.當光柵移動一個小柵距時,莫爾條紋隨之移動一個條紋間距,這樣,我們測量莫爾條紋的寬度就比測量光柵線紋寬度容易的多.此外,由于每條莫爾條紋都是由許多光柵線紋的交點組成,當線紋中有一條線紋有誤差時（間距不等或傾斜）,這條有誤差的線紋和另一光柵線紋的交點位置將產生變化.但是,一條莫爾條紋是由許多光柵線紋交點組成,因此,一個線紋交點位置的變化,對于一條莫爾條紋來講其影響就非常小了,所以莫爾條紋可以起到放大和平均的作用.光柵尺受溫度影響較大,一般使用環境在40攝士度以下.
光柵測微傳感器，是以高精度光柵作為檢測元件底精密測量裝置。與數顯表配套，組成高精度數字化測量儀器。可以代替機械式千分表、扭簧比較儀、深度尺、電感測微儀和精密量塊，配以適當的轉換器，可將溫度、壓力、硬度、重量等參數轉換成數字量。用于自動化大生產中在線檢測以及精密儀器的位置檢測。其特點是測量值數字化顯示，精密高，穩定可靠，讀數直觀準確。亦可把測量數據輸入計算機打印出測量數據或繪出曲線。
使用注意事項
（1）光柵尺傳感器與數顯表插頭座插拔時應關閉電源后進行。
（2）盡可能外加保護罩，并及時清理濺落在尺上的切屑和油液，嚴格防止任何異物進入光柵尺傳感器殼體內部。
（3）定期檢查各安裝聯接螺釘是否松動。
（4）為延長防塵密封條的壽命，可在密封條上均勻涂上一薄層硅油，注意勿濺落在玻璃光柵刻劃面上。
（5） 為保證光柵尺傳感器使用的可靠性，可每隔一定時間用乙醇混合液（各50%）清洗擦拭光柵尺面及指示光柵面，保持玻璃光柵尺面清潔。
（6） 光柵尺傳感器嚴禁劇烈震動及摔打，以免破壞光柵尺，如光柵尺斷裂，光柵尺傳感器即失效了。
（7） 不要自行拆開光柵尺傳感器，更不能任意改動主柵尺與副柵尺的相對間距，否則一方面可能破壞光柵尺傳感器的精度；另一方面還可能造成主柵尺與副柵尺的相對摩擦，損壞鉻層也就損壞了柵線，以而造成光柵尺報廢。
（8） 應注意防止油污及水污染光柵尺面，以免破壞光柵尺線條紋分布，引起測量誤差。
（9） 光柵尺傳感器應盡量避免在有嚴重腐蝕作用的環境中工作，以免腐蝕光柵鉻層及光柵尺表面，破壞光柵尺質量。 |
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