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四路質子混氣管式pecvd系統
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主要部件的功能及其工作原理
1 電熱爐（工藝管）
電熱爐是特制的高可靠性的發熱體，是經過特殊工藝制成，它對恒溫區的長度、精度以及穩定度提供了基礎，是影響成膜速率和均勻性的必要條件之一。工藝管具有口徑大、壁厚均勻無氣泡的優良性，它水平置于爐體的中央，兩端配有密封法蘭，可生產8英寸圓片、6英寸方片，同時經特殊磨口為真空密封提供可靠保證。
2 取放舟系統
取放舟系統采用軟著爐的方式，即將石墨舟放到反應管內部后，推舟機構將退出，自動門關上�！� 載片舟是經特殊設計，在X軸、Y軸、Z軸三個方向可微調，再精加工而成。它直接影響到電場的分布、等離子的產生、氣流的走向、膜的品質。成膜壓力甚至氣體的流量都與此結構有關。所以是本設備的核心部件。
3 氣路單元
氣路單元是一個獨立體，它的所有使用元器件都是進口產品，具有控制精確、動作可靠，布局合理，為安全生產提供一個先決條件。
4 PLC及計算機控制
本臺設備PLC做工藝自動控制和安全互鎖，計算機提供人機交互，工藝編輯，各種過程實時顯示，參數實時時錄等。裝片取片由人工操作。同時有多種報警系統，如超溫報警、斷偶報警等。
5 真空系統
真空系統是本臺設備的關鍵之一，它是由羅茨泵機組、電動調節閥、電磁擋板閥、壓力傳感器、真空管道等組成。 |
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